三星顯示將研究新一代IT用8.5代OLED蒸鍍技術。雖然能夠大幅擴大經濟性的8.5代采用垂直蒸鍍仍是最優選擇，但為了應對不確定性，水平蒸鍍技術也很有可能同時開發。IT用OLED是指適用于平板電腦和筆記本電腦等IT產品的OLED。

　　根據韓媒Thelec報道，三星顯示最近要求日本Canon Tokki確保開發2臺IT用8.5代（2200x2500mm）有機發光二極管（OLED）半切（Half Cut）、水平方式蒸鍍機所需的Slot。Slot是在簽訂購買意向書 （LOI）和正式訂單 （PO） 之前的口頭請求。

　　顯示設備廠商在對設備制造日程進行具體化時，會反映面板廠商提出的確保Slot的要求。因為在要求確保Slot后，緊接著進行購買意向書和正式訂貨的事例很多。業界也對三星顯示的"確保Slot"要求表示："這意味著將研究IT用8.5代OLED蒸鍍技術。"

　　三星顯示之所以要求Canon Tokki確保8.5代半切式水平蒸鍍Slot，是因為目前在與日本Ulvac正在進行的8.5代全切式垂直蒸鍍機開發上面臨困難。

　　與半切式水平蒸鍍機相比，全切式垂直蒸鍍機可以減輕 FMM 中心區域因重量而下垂的現象，因為將紅（R） 綠 （G） 藍 （B） OLED 有機物蒸鍍所需的精細金屬掩模版 （FMM） 垂直于地面。此外，全切式垂直蒸鍍在薄膜晶體管（TFT）工藝后，基板未進行半切的狀態下蒸鍍有機物，使整個過程可以縮短。

　　但是垂直蒸鍍的量產性尚未得到驗證。在垂直蒸鍍中，需要更高的溫度才能將氣化的有機物輸送到一邊，然后蒸鍍在玻璃基板上。當熱量過多時，有機物特性可能會發生變化。另外，確保重復蒸鍍2米以上的8.5代玻璃基板的蒸鍍工藝，并在無損傷的情況下移動的物流技術也并非易事。

　　迄今為止，OLED智能手機等主要使用第六代（1500x1850mm）半切式水平蒸鍍技術。因此，雖然有觀點認為8.5代全切式垂直蒸鍍機在經濟性方面會更好，但在設備開發方面并不容易。

　　另外，三星顯示的此次確保Slot的要求，也反映了首先向三星電子供應IT用OLED的日程，以及Canon Tokki的設備生產能力等。

　　來源：韓媒Thelec