東進半導體與三星電子合作，成功開發了超細半導體加工必不可少的材料——極紫外（EUV）光刻膠（PR）。
東進化成華城園區鳥瞰圖
東進半導體19日宣布，近期通過了三星電子的EUV PR可靠性測試（Qual）。一位熟悉此事的業內人士表示，“Dongjin Semichem 在其位于京畿道華城的工廠開發了 EUV PR，并在三星電子的華城 EUV 生產線上對其進行了測試，并獲得了最終質量。”他說。
在韓國，用于氟化氪 (KrF) 和氟化氬 (ArF) 工藝的 PR 已大量生產，但沒有用于可以繪制更精細電路的 EUV 的 PR。那是因為它很難開發。韓國使用的 EUV PR 大部分是從日本進口的。EUV PR是2019年日本三大出口限制之一。此款光刻膠打破了韓國EUV光刻膠完全依賴海外供應商的局面。
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