凸版印刷在次世代顯示材料透明氧化物半導體的薄膜電晶體上,以涂布方式,在形成薄膜的同時,將與動作速度相關的電子移動度提升至原本10倍的水準。一般而言,涂布方式可高效率形成氧化物半導體薄膜,但在動畫顯示切換TFT使用的電子移動度將降低,為其課題。加上電壓時的電子移動度達1V.s平均5.4平方公分,原本則僅為0.5平方公分。預計可應用于高精細、 畫面尺寸超過80寸的液晶面板或OLED顯示面板上。
原本成膜處理時間約需30分鐘,在改善成膜制程前后熱處理工法后,僅需2-3分即可。TFT的制程最高溫度為270度C,較一般方法低約100度C左右。藉由透明氧化物半導體涂布條件的改良, 2-3年后以達到150度C的熱處理為目標。
試作的顯示面板尺寸為2寸,采用玻璃做為TFT基板。以旋轉涂布方式,使材料形成薄膜,像素數達1寸平均400像素,實現與運用真空蒸鍍工法相同的高解析度。一般氧化物半導體采用真空蒸鍍的成膜工法,為達到真空全程需使用大型設備,旋轉涂布工法由于不需要真空設備,可達到降低成本的效益。
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