應用材料公司推出全新的Applied AKT-20K PX 電漿強化化學氣相沉積(PECVD)系統(tǒng),可用于制造最先進智能型手機及平板電腦所需的高效能主動矩陣式有機發(fā)光二極體(AMOLED ) 及平面顯示顯示屏。新系統(tǒng)采用關鍵的低溫多晶矽(LTPS)技術,可將高度均勻的薄膜沉積于較先前標準尺寸超出三倍的1.95m2玻璃片上。這項功能讓制造業(yè)者得以大幅增加產(chǎn)量并降低成本,借此加速開發(fā)具有更大、更高解析度顯示屏的消費性行動產(chǎn)品。
OLED技術具有色彩豐富及低功耗特色,使其成為4-5英寸智能型手機顯示屏的首選。預期新世代的平板電腦會使用更大的7-12英寸OLED顯示屏,因此產(chǎn)能擴充勢在必行,方能迎合市場需求。此外,應用材料公司的AKT-20K PX系統(tǒng)讓超高解析度TFT-LCD的畫素更加緊密,因此,比先前的技術,可呈現(xiàn)更明亮、更清晰、更低耗能的畫面。
AKT-20K PX系統(tǒng)的關鍵在于采用應用材料公司已專擅超過十年的先進LTPS技術。應用材料公司于全球已出貨100臺可將LTPS薄膜沉積于更小尺寸基板的系統(tǒng)。市場研究機構DisplaySearch指出,2011年投資于LTPS沉積制程設備的商機將刷新紀錄,達到24億美元的規(guī)模。
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