根據日本艾迪科株式會社(以下簡稱為:“ADEKA”)官網近日披露消息稱,千葉新工廠內已引進EUV(極紫外光刻)光刻膠材料一一光氧化發生劑(PAGs)的生產設備,并為新廠房舉辦了完工儀式。為滿足尖端材料的旺盛需求,新產線計劃2023年8月開始稼動。
5G通信的擴大,以及AI、元宇宙等ICT社會(Information Communications Technology,信息通信技術,簡稱為“ICT”)中,半導體發揮著重要作用。為提高半導體處理信息的速度、同時降低其功耗,半導體廠家正通過提高其微縮化來推動高集成化的進程。其中,相當于人腦的邏輯(Logic)半導體的微縮化進步尤其明顯,對新材料的需求也水漲船高。
ADEKA通過為半導體行業提供尖端材料,壯大了其信息?電子化學品事業部的發展。在邏輯半導體應用方向,ADEKA基于出色的光控制技術和金屬管理技術,賦予EUV光刻膠材料一光氧化發生劑“ADEKA ARKLS”系列產品全球第一的性能,并獲得了極佳的銷售業績。隨著半導體微縮化發展,預計對EUV光刻膠的需求也將越來越多,因此ADEKA在2021年8月決定進行設備投資,并投建新廠房。
此次新引進的設備量產后,ADEKA的產能將較以往提升至兩倍多。此外,ADEKA不僅引進了新的生產工藝(Process),還將引進最先進的設備以提高品質管理能力,使金屬雜質管控達到1ppb(part per billion)以下。另外,ADEKA還引進了用于生產新一代產品的設備。
ADEKA集團不僅繼續會擴大銷售其主力產品一一存儲半導體方向高介電材料,同時也會繼續推進其材料在邏輯半導體方向的應用,以實現成為全球頂尖半導體材料廠家的目標。
(圖片來源:日本艾迪科株式會社官網)
關于ADEKA的光氧化發生劑“ADEKA ARKLS”系列
該系列產品是光刻膠的引發劑(Initiator),為了在半導體光刻制程中形成細微線路,需要利用該系列產品與特定的光、電子線發生反應形成氧。該系列材料被應用于當下最先進的EUV曝光制程中,未來ADEKA將進一步擴大銷售。
關于ADEKA的信息?電子化學品事業部
ADEKA通過向半導體行業和顯示行業提供多類尖端材料,促進ICT社會發展。其中,用于存儲半導體的高介電材料“ADEKA ORCERA”系列擁有全球第一的市占率。在中期經營計劃“ADX2023(2021年一2023年)”中,ADEKA將“新一代ICT相關業務”定位為核心業務之一,并力求大幅度擴大業務規模。
ADEKA在“ADX2023”中提到,計劃三年內對信息?電子化學品業務進行95億日元(約人民幣4.86億元)設備投資,由于ADEKA的投資集中在了尖端半導體材料領域,因此在2022年末,實際投資額已經達到最初計劃的120%(含獲審批部分)。
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