晶聯光電、四豐電子副總經理張雪鳳

　　長期以來，高端靶材供應遭國外企業壟斷，國內面板產業鏈缺乏自主性，驅使國家政策強力支持面板配套材料及設備的國產化。在2017中國國際OLED產業大會上，晶聯光電、四豐電子副總經理張雪鳳詳細介紹了靶材的國產化進展。

　　顯示面板常用靶材

　　靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源，面板常用的靶材主要分為金屬靶材和陶瓷靶材兩種。在顯示面板的制程中，靶材主要用于TFT中的電機、布線材料或阻擋層材料。

　　靶材按外形可分為平面靶材和旋轉靶材兩種，其中平面靶材在面板PVD制程中正常消耗量是35%-40%，旋轉靶材則達到70%以上。張雪鳳介紹，這意味著在工業應用中，旋轉靶材的建設效率和使用效率高于平面靶材。

　　Mo靶材和ITO靶材分別是金屬靶材和陶瓷靶材的重點。Mo靶材主要用于TFT的柵極、源級和漏級金屬電極。以前，ITO靶材生產工藝主要是熱壓燒結法、注漿燒結法，現在則是冷壓燒結法。

　　靶材國產化下游應用的情況

　　面板已經進入OLED時代。目前，中國的面板產線（含已建、在建、計劃）達到42條，其中G8.5以上產線共16條（量產+在建）。在整個產業發展趨勢的帶動和引導下，上下游產業鏈迎來新的發展機遇，

　　目前，靶材國產化已經取得一定的進展。Mo靶材在下游面板企業的國產化采購量占比已居于前列；ITO靶材TFT國產化進程則因技術、品質等問題未能解決而相對較慢，但已在2016年實現“破冰”，現已進入G8.5的測試認證階段。其中，BOE的Mo靶、ITO靶、AI靶、Cu靶都已實現國產化采購；CSOT的Mo靶、AI靶和Cu靶已實現國產化采購，ITO靶已啟動G8.5國產化測試認證；天馬的Mo靶和ITO靶已啟動國產化測試認證；TRULY實現了Mo靶和ITO靶的國產化采購。

　　在銷售上，ITO靶材方面，國產ITO靶材仍以TP、TN、STN為主，TFT高世代線（G8.5及以上）處于測試階段，G6、G5、G4.5、G2.5均實現了小批量使用；Mo靶材方面，國產平面Mo靶已全面替代進口，并占較高采購比例，而旋轉靶材仍處于測試階段。

　　張雪鳳認為。明年全球ITO靶材的市場需求量將突破2000根，而且在2017年至2019年間全球需求成長率預估為5%-7%，這正是ITO靶材國產化的意義所在。

　　國產靶材的發展現狀

　　目前國產化靶材的產能已經突破2000噸/年，但張雪鳳認為，靶材國產化仍有困難。

　　陶瓷靶材方面，ITO靶材是資金和技術密集型產業，目前國產ITO靶材雖然與進口靶材拉開了差距，但產能和日韓主流靶材企業還有差距，而且新型靶材的研發及量產經驗明顯不足，需要大量的配套資金支持；IZGO靶材起步較晚，且面臨著國外企業設置的專利壁壘，進展緩慢。

　　金屬靶材方面，Al靶、Cu靶的原材料高純銅錠和鋁錠都掌握在國外企業手上；大尺寸鉬合金靶材的研發、生產能力較弱。

　　此外，靶材國產化還存在一些綜合影響因素。一是面板產線的靶材國產化導入周期長、測試成本高等客觀因素；二是國內靶材產業尚處于成長期，產業規模與國外相比還存在差距，抗風險能力相對較弱。

　　張雪鳳對提升國產靶材綜合競爭力提出了一些建議。一是延伸并完善產品供應鏈，提高國產靶材成本控制能力；二是穩定產品質量，擴大生產規模，提高市場抗風險能力；三是緊跟市場新需求，提高企業新產品的開發能力；四是政府相關部門的國產化扶持政策繼續引導、支持，繼續推動產業鏈的配套完善。