愛思強宣布其接到了某亞洲主要OLED面板制造商的設備訂單,將提供一套OLED蒸鍍系統并于2017年下半年安裝完成。
雖然愛思強并沒有在公告中說明其蒸鍍系統的類型,但根據以往的報道,愛思強只有OVPD蒸鍍系統的制造經驗,所以本次出貨的蒸鍍系統類型將為OVPD。
愛思強將與面板制造商合作,努力將OVPD蒸鍍設備調試至生產水平。據愛思強透露,OVPD蒸鍍技術對比傳統蒸鍍技術,具有多種獨有優勢,包括高蒸鍍速率、高材料利用率及降低材料在蒸發中的裂解等。
在去年3月,愛思強稱其使用OVPD蒸鍍設備實現了OLAD(OrganicLarge Area Demonstrator),在持續數月的測試后得到了較好的結果,目前設備已經進入出貨客戶的測試階段。
什么是OVPD 蒸鍍技術
OVPD是AIXTRON愛思強提供的革命性的有機半導體材料沉積技術,可生產用于平面顯示器、照明和其它半導體應用的有機發光二極管(OLED)和柔性電子。 OVPD以氣相傳輸原理為基礎,是一項創新的有機小分子薄涂層沉積技術,可實現低運營成本和最大生產效率。
在由美國普林斯頓大學Stephen R. Forrest教授研發并持有專利的工藝中,有機材料可在高真空條件下蒸發,并通過惰性載氣傳輸至發生沉積現象的基材中。 與傳統方法(真空熱蒸發- VTE)相比,該技術在工藝控制、可再生性以及運營成本方面均具有重大優勢。
美國環宇顯示技術股份有限公司(UDC)擁有OVPD專利的使用權,并在1999年專門將此專利授予AIXTRON愛思強用于OVPD系統的研發、生產和營銷。在UDC的支持下,AIXTRON愛思強已研發出以OLED技術要求為重點的OVPD生產系統。 為此,AIXTRON愛思強將OVPD與獲得專利的近耦合噴淋頭(CCS)技術相結合,并成功應用于其他AIXTRON愛思強沉積系統(MOCVD),實現半導體設備的批量生產。
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