全球領先的真空和尾氣處理設備和服務供應商Edwards宣布，該公司在中國贏得迄今為止最大的銷售訂單。該訂單來自先進平板顯示器制造商，價值為1200萬英鎊（1900萬美元），為整個制造廠提供定制式整體尾氣處理解決方案。系統將用于等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）和干式刻蝕制造工藝以處理工藝尾氣及廢液。

　　“我們的整體尾氣處理解決方案已經得到優化，以確保工藝尾氣及其副產物的處理過程最大程度地減少健康與安全風險并符合環境法規，同時易于安裝，”Edwards 中國公司總經理許堅說，“這些系統也有助于減少制造廠的運營成本、能耗和碳足跡。由此產生的低擁有成本使制造商可以有效地管理財務業績，同時十分環保。”

　　最新整體系統訂單包括Spectra Z 和Atlas TPU尾氣處理系統。平板顯示器制造涉及大量硅烷，硅烷容易起火，而且每升產生2.68克左右二氧化硅粉末（滿負荷生產的平板顯示器制造廠每天可生產高達200公斤粉末）。這些粉末容易堵塞尾氣管，降低系統性能，而且需要維護。Spectra Z已經經過優化以處理高流量硅烷，從而提高制造廠安全性，增長系統正常運行時間。

　　Atlas TPU 無明火的內燃式燃燒系統，在處理平板顯示器制造中另一種常用氣體NF3的過程中不會產生全球溫室氣體。Atlas TPU是一種經過現場驗證的可防止PFCs 和 NOx形成的高效解決方案。

　　“人們普遍認為2010年將是經濟復蘇的一年，尤其是中國正處于高速發展時期，” Edwards亞太區總裁Neil Lavender-Jones說，“這一重大銷售訂單體現了Edwards在亞洲的擴張。