近日，KLA-Tencor 公司宣布推出 Teron™ SL650，該產品是專為集成電路晶圓廠提供的一種新型光罩質量控制解決方案，支持 20nm 及更小設計節點。Teron SL650 采用 193nm光源及多種 STARlight™ 光學技術，提供必要的靈敏度和靈活性，以評估新光罩的質量，監控光罩退化，并檢測影響成品率的光罩缺陷，例如在有圖案區和無圖案區的晶體增長或污染。此外，Teron SL650 擁有業界領先的產能，可支持更快的生產周期，以滿足檢驗更多數量的先進技術光罩的需要。

　　KLA-Tencor 光罩產品事業部 (RAPID) 副總裁兼總經理熊亞霖博士稱：“對于集成電路制造商而言，了解光罩狀況是圖案成像工藝控制的核心要素，因為光罩質量變化可能會對在印的每一片晶圓造成毀滅性影響。針對 Teron SL650，我們的團隊在適合集成電路晶圓廠的一個緊湊平臺上采用了最先進的光罩檢測技術，生產出一款具有先進靈敏度、高產能和可擴展至未來節點能力的光罩質量控制系統。通過監測新光罩的關鍵缺陷，并在生產期間識別掩模圖案的累積缺陷和變化，我們的 Teron SL650 能夠幫助芯片制造商保證設備成品率、性能和生產周期。”

　　Teron SL650 利用 STARlightSD™ 和 STARlightMD™ 創造出更勝一籌的缺陷捕獲率，以及分別在單芯片和多芯片光罩上的全面檢測，藉此支持晶圓廠內各種類型的光罩。芯片制造商還可以使用創新型 STARlightMaps™ 技術來追蹤光罩隨著時間的退化，找出臨界尺寸 (CD)、薄膜厚度、抗反射層以及光罩上的其他變量的變化——這些變化會影響光罩質量從而影響光刻工藝窗口或圖案印刷。此外，Teron SL650 與超紫外線 (EUV) 檢測技術兼容，能夠與集成電路制造商及早協作，滿足晶圓廠對 EUV 光罩的要求。

　　多臺Teron SL650 光罩檢測系統已在世界各地的代工廠、邏輯電路與存儲器生產廠安裝，用于新光罩的質量檢測，以及先進集成電路制造中所用光罩的重新檢驗。為了保持高性能和高產能，滿足最先進的生產需要，Teron SL650 系統由 KLA-Tencor 的全球綜合服務網絡提供支持。關于 Teron SL650 光罩檢測系統的更多信息，請與光罩產品事業部 (RAPID) 聯系。