隨著信息及電子發展的速度使得觸控式顯示面板的應用越來越普遍，目前觸控式面板在全球已開始自成一項產業，作為一項先進的計算機輸入設備，它是目前最簡單、方便、自然的而且又適用于多媒體信息查詢裝備，觸控面板具有堅固耐用、反應速度快、節省空間、易于交流等許多優點。依目前觸控式面板的工作原理和傳輸信息的介質，可將其分為：電阻式、電容式、紅外線式及表面聲波式，其中以電阻式觸控面板為市場主流，其市場規模約占整體觸控面板市場之59%，電容式為次之，約占22%。而電阻式與電容式的觸控面板皆需要有透明導電膜層（TCO）來產生觸控動作的電場感應，大部份的透明導電膜材料以氧化銦錫（ITO）為主。

　　ITO是所有透明導電膜（TCO）中，其導電性與透光率表現最為優良的氧化膜，而應用在觸控面板的透明導電膜層除了需具備高穿透以及良好的電阻率，另外需要均勻的電阻分布以偵測精準的觸控位置，以及可長期使用的高穩定電性，以因應觸控面板的廣泛應用，其中以航天軍用、工業與車用等應用端的環境測試標準更是比信息產業所使用的面板來得嚴格許多，所以ITO薄膜的環境測試能力是此應用上重要的考量因素。應用在觸控面板的ITO的面電阻較高（常見的面阻抗約300~1000
），為了達到要求的高面電阻，透明導電膜的膜厚需要變得很薄，超薄的膜厚會產生許多問題，包括電性的不穩定、面阻抗的不均勻、環境測試能力變差。

　　本論文即要探討ITO膜厚對于這些特性的相對關系，并考量面電阻、穿透率、環境測試與生產成本，以評估最佳的ITO薄膜厚度，并且透過優化DC磁控濺鍍的制程參數以符合觸控面板的透明導電膜之要求，此乃本論文研究方向。