●演講/許生

　　“2011年觸控屏市場規模有160億美元，到2018年將翻一倍，達到320億美元左右”，這是著名顯示行業研究公司DisplaySearch的資料。今年，In-cell、On-cell和OGS是業界關注的重點，而從鍍膜技術看，主要是IM ITO、AR以及鍍膜技術的低溫方法。

　　鍍膜技術的發展主要有四個方面：一是低溫ITO技術，從傳統的170度、電阻80Ω、通過率達到87%到現在的80度、電阻80Ω、通過率達到85%左右的轉變；二是IM ITO要求低溫80Ω，但目前的行業內達到的要求是低溫20Ω，在這方面還需要進一步的發展；三是AR，現在的要求小于0.5%；四是大型超薄方面的Back side ITO技術，目前要求80度降到50度的范圍。

　　目前在電容屏領域里有三種類型的設備可以選擇。第一種是ITO方式的單進單出方案，另外一種是雙進雙出的方法，實際上這些方案是應對客戶不同的需求。雙進雙出的方法是一邊可以單純做ITO，另外一邊做氧化硅。第三種是循環的結構，針對像IM ITO結構或者三層結構和四層結構的鍍膜，采取循環鍍膜的方式。

　　目前做IM ITO有兩個方案，一是三層結構，用氧化鋰+氧化硅的方案，另外一種是采取四層結構加上ITO是五層結構。從效益看，針對不同的方塊電阻，有些可以達到，但如果電阻太低就采取5×9方式，這主要因為如果ITO的厚度厚了對光學層的要求就更高。

　　接下來，我介紹一下我們公司。愛發科豪威是中國第一家推出ITO鍍膜技術的公司，愛發科是全世界做PVD最好的公司之一。2009年4月30日成立的注冊資本達6000萬的愛發科豪威合資公司，傳承了愛發科在真空設備研制領域的全球頂尖優勢，依托愛發科在材料工藝及關鍵設備的強大后援，逐步地實現高端真空鍍膜設備及相關部件的國產化制造。公司成立之初，有兩個方向：為觸控屏領域服務，為設備制造廠商提供大型鍍膜設備。我們在電容屏做了很多工作，包括玻璃解決方案、膜的解決方案。

　　根據客戶的不同要求，目前愛發科豪威有三種電容屏鍍膜設備：第一種是單進單出的方案，是ITO的方式；第二種是相當于兩條線的雙進雙出方法，可以一邊做ITO，一邊做氧化硅；第三種則是循環的結構，針對兩層以上的，像IM ITO、三層結構和四層結構的鍍膜，采取循環鍍膜的方式。

　　在鍍膜技術方面，愛發科豪威不斷強化自身核心競爭力，積極探索相關工藝及技術。

　　一是低溫鍍膜工藝。愛發科專利的W-α陰極采用高磁場、低電壓ITO鍍膜，有效降低了ITO電阻率，達到電阻范圍平均80Ω，控制在2.9%，而一般鍍膜性能要求是5%。

　　二是消影膜——IM ITO工藝。該技術應用越來越廣泛，OGS技術都要用IM ITO。目前做IM ITO有兩個方案，一是三層結構，氧化鋰+氧化硅的方案。另外一種采取四層結構，加上ITO是五層結構。

　　三是OGS鍍膜工藝。有兩種方案：第一種是370×470可以放9片，鍍膜以后做OGS再切割；還有小K鍍膜的方式，直接在小片上進行鍍膜。愛發科豪威已有成功的技術，能做到表面無接觸、無效鍍膜邊緣最小、無繞射、無刮傷，而且設備已經銷售。

　　四是AR工藝。目前產業界對AR技術接觸越來越多，一般都涉及到A、B值，這就是開發的范圍。現在的幾乎是全色的AR技術。從AR系數來看，愛發科豪威的優勢是采用四層AR技術，A值小于1，就是0.1-0.8，B值是-0.5，也是小于1的范圍。

　　五是Back Side技術。主要在面板制成以后減薄，因為要在非常低的低溫上進行鍍膜，而針對不同的厚度，愛發科豪威可以提供Back Side ITO的鍍膜設備。

　　愛發科豪威設計的整個生產線采取不同的模塊，可以大大縮短制造中心。從目前的情況來看，因為是模塊化的方式，不管是AR還是IM，都可以在比較短的時間內完成設備的安裝和調試。過去的設計和實地安裝調試時間大概是7個月，現在至少可以縮短兩個月。

　　而在觸控屏領域，采取α陰極提高靶材利用率，可以節約成本。目前，觸控屏產業主要做兩種薄膜：導電薄膜和介質薄膜。介質薄膜如氧化鋰、氧化硅，行業里采取旋轉陰極設計。愛發科豪威運用移動陰極和寬板設計，能將靶材利用率提高到達到50%。現在ITO材料成本非常高，以G6和G4.5，實際利用率50%和35%的比較，一年算下來，以6代線為主的企業，一年可以節約1100萬；如果是G4.5，實際靶材利用率是35%，一年在節省材料費用240萬。

　　......

　　更多精彩內容請見《國際光電與顯示》2012年12月刊，歡迎訂閱！

　　訂閱咨詢：0755-86149014